产品参数：
| 型号 |
TS-PL10MA |
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真空腔规格 |
材质316不锈钢 |
| 腔体尺寸 |
L200mm*W270mm*H200mm |
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电极 |
平板气浴电极 材质6061-T6铝合金 |
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功率电极 |
1 |
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接地电极 |
1 |
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电极尺寸 |
180mm *230mm（最大可处理产品尺寸规格） |
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频率 |
13.56MHz |
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功率 |
0-300W连续可调，精度1W,可在设备运行中随时调整参数 |
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气体控制 |
精密针阀式浮子流量计， 0-1000ml |
| 气体通道 | 2路（可增加） |
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真空度测量仪器 |
2色显示式高精度数字式压力开关（SMC） |
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控制方式 |
4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式 |
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控制软件功能 |
界面显示实时工作状态 |
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电极板配置 |
配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置 |
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设备规格尺寸 |
长500mm 宽550mm 高800mm |
产品特点：
Ø 卓越的密封性腔体:采用进口316不锈钢腔体，军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺。
Ø 高密度等离子电源技术：采用进口等离子电源电路技术，确保出众的清洗效果。
Ø 独有放电技术：特殊处理的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
Ø 高精度气体流量监测系统：两种工艺气体配置(氩气、氧气等非腐蚀性气体），双路气流控制，比例可调，采用MFC质量流量计、气体管路及阀件。
Ø 优质产品部件：产品部件采用国内外顶尖优质品牌，确保设备性能优越。
Ø 数字计时单元：1-9999s选择范围时间显示，处理过程结束后自动终止。
Ø 适用形状复杂样品：清洗各种复杂形状的产品，包括内孔内壁，全方位均匀清洗。
Ø 处理全程无污染 ：等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。
