产品参数：
型号
TS-SY05
控制系统
PLC+触摸屏
供电电源
AC220V（±10V）
工作电流
整机工作电流不大于 1.2A（不含真空泵电流）
等离子源功率
300W（60%-100%连续可调）
等离子源频率
13.56MHz
频率偏移量
小于 0.2KHz
气体流量计
0-500ml/min(2路气体可调)
气体流量控制
精密针阀式浮子流量计（2路）
过程控制
自动与手动方式
清洗时间
1-9999s 可调
真空度
＜80Pa
内腔尺寸（圆形）
φ160（直径）*210（深度）mm
腔体材质
石英玻璃
产品特点：
清洗时长可在触摸屏设置，等离子处理时间精确到秒（s）
内置两路气路，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪
专利软件、触摸屏控制，操作简易，智能化设计，避免误操作
实时观察腔体压力变化情况， 电流、电压实时监测，确保仪器稳定安全运行
石英材质真空腔体不与等离子体产生反应，不会污染样品
配备的真空泵噪音和油气污染小，真空度高
全程干燥的处理方式，不消耗水资源、无需添加化学药剂、不产生污染
常见应用：
石墨烯粉末清洗、改性，去除粉末杂质和油质，增加石墨烯表面亲水基团（-OH）提高亲水性
金属工件油污等离子清洗，不损伤样品，去除表面油污
PDMS等离子活化改性，提升亲水性和键合力
ITO导电玻璃亲水性处理并提高其功函数
硅片亲水性处理，改性、活化表面
