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等离子清洗机
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工业真空等离子清洗机 TS-...

适用行业: 适用于塑料,LED,手机,汽车,医疗等诸多行业

产品用途:表面活化改性,增加粘接性,提升附着力

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产品参数

型号

TS-VPL150-MA(TS-PL150MA)

电源频率

40KHz/13.56MHz

容量

150L

功率

0-1000W(可调)

腔体尺寸

(长宽高mm)500*500*600

处理层数

17

外形尺寸

(长宽高mm)1200*1100*1730

真空泵

油泵/干泵+罗茨组合

真空度

5-100pa(可调)

腔体材质

316不锈钢/进口铝合金(选配)

气体流量控制

0-500SCCM(MFC±2%)

气体通道

两路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02

等离子体发生器

40KHz/13.56MHz

腔体温度

30

控制方式

PLC+触摸屏

系统控制软件

自主研发V2.0

电极陶瓷

进口高频陶瓷

等离子清洗机一般说明

我公司设计的等离子清洗机是一个大容量的生产设备,具有多用途的机械系统,它广泛应用于活化,退镀,改性,蚀刻,提升附着力和清洗等等功能。该设备也是最环保,最节能,有效性好的理想设备

主要功能

蚀刻:对于光致抗蚀剂聚酰亚胺的残留和以硅化物为基本成分的涂层等材料的清除很有用

粘附提升:往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。

清洗:清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留,氧化和金属盐等对材料的污染。

活化:能使处理基材表面生成所需化学极键;

退镀:使被处理基材除去金属等材料,制作各种产品。

传统清洗优劣对比

1.环保 - 没有有毒废物的排放并且由于在机器操作时我们设置了一个非常低的空气流量,因此空气污染也降到最低。

2.非危险物质 - 不用接触有毒化学品。

3.高效 - 提供统一的三维处理能力。

4.可控 - 参数可以精确地设定为统一的处理。

5.经济 - 初始投资后加工起来是非常经济的。

主要的设备部件讲解

A、真空腔

真空腔是一个大的,由进口铝材制成的一个容器。在那里进行真正的等离子处理程序。这个腔的设计通过保持气体流动的连续性和恒定性以此来提升机器操作的稳定性。这个腔由5个主要部分组成,这些将在下面做一具体描述。

B、电极

这个电极是由一组进口铝材的装置安置在腔体的内部。在等离子循环运行时间段内,这个装置由射频器带动可以生成可用的等离子体来处理产品。

C、气体分配

这个气体分配装置被安装在真空腔前盖里面。在这个等离子操作循环运行阶段内,它分配那些可以产生等离子以此来处理产品的气体。

D、真空阻断器

真空阻断器可以在一个等离子操作循环结束后使真空腔内的气压回归到大气压水平。在这时间段内真空腔内的门可以打开操作人员可以取出里面的产品。

E、真空腔门的装配

这个真空腔门的装配可以保证真空腔的正常运行。

1.真空泵

真空泵装置是一个两阶段的力学泵,它可以除去泵内的空气,以此确保机器连续的工作。

2.加速真空泵

这个加速真空泵帮助真空泵在最短的时间内更快地抽气使设备高效运行。

3.电力控制箱

此装置被安装在真空腔右面的框架上。它包含电动机启动装置和为泵工作的过载加热器和鼓风机。它也包含最基本的电源切断装置,数据输入板,和用在器械操作时的继电器和互锁电路。

4.质量流控制器

此装置可以调节流进真空腔的气体流动速度。

5.射频电源

这个装置提供射频能量到射频电源的电极上。按照这个模式,此装置提供300-1000瓦的能量。

6.模块化的界面系统

界面电子监控机器操作系统和计算机控制关口和机械系统

7.特有的等离子处理循环

气体说明

氧气

清洗表面通过氧等离子体化学反应。化学清洗过程是有效的,因为它具有非常低的挥发性有机分子(保持固体状态下真空)转换成小,挥发性分子这立即转换成气体状态,通过真空泵扫除室。

氩气

在物理过程中,原子和离子在高能量/速度下轰击表面,打破自由分子,并且后来通过真空泵被去除。

最常见用于物理清洗的气体是氩气。主要原因是氩气是一种有效的清洁等离子。由于氩原子有超过两倍的氧原子能量。因此,他们可以撞击表面有更大的力量。大多数物理清洗加工需要高功率,低压力(150毫托)。我们的目标是获得最大加速度的氩原子和离子撞击表面需要很高的功率因高功率形成高能量的等离子体,更大的平均速度的原子和等离子体。低压力才能最大限度的平均距离,使每一个原子与另一个碰撞。这个距离是已知的自由路径。

更换气体钢瓶

1.关闭气瓶上的阀门。

2.关闭阀门的气体调节器,分离出气体管线。

3.断开气瓶的气体调节器。

4.将新的气缸调节器连接。

5.打开气瓶上的阀门。

6.打开阀门的气体调节器。

检查气路完整性

气体管线的完整性,可以简单地通过打开气瓶阀,然后迅速再次关闭它上证实。

如果在调节器的压力读数很快下降,有相当大的泄漏,可能会导致空气污染。

气体泄漏,随着气瓶和调节器的阀打开,可以使用肥皂水处理。

淹没怀疑泄漏的地方。肥皂泡的形成,表明有气体泄漏。


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