基本参数
| 电源频率 | 40KHz/13.56MHz |
| 容量 | 110L |
| 功率 | 0-500W(可调) |
| 腔体尺寸 | (长宽高mm)500*450*500 |
| 处理层数 | 15层 |
| 外形尺寸 | (长宽高mm)1100*1030*1680 |
| 真空泵 | 油泵/干泵+罗茨组合 |
| 真空度 | 5-100pa(可调) |
| 腔体材质 | 316不锈钢/进口铝合金(选配) |
| 气体流量控制 | 0-500SCCM(MFC±2%) |
| 气体通道 | 两路(可增加):Ar/N2/H2/CF4/02 |
| 等离子体发生器 | 40KHz/13.56MHz |
| 腔体温度 | ＜30℃ |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 系统控制软件 | 自主研发V2.0 |
| 电极陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
真空等离子清洗机是一个具有多用途的机械系统，广泛应用于活化，退镀，改性，蚀刻，提升附着力和清洗等等功能。该设备具有环保无污染，节能省成本，清洗效果好等特点
行业应用
设备功能
蚀刻：对于光致抗蚀剂聚酰亚胺的残留和以硅化物为基本成分的涂层等材料的清除很有用
粘附提升：往基质上添加活化能力强的化学基团以提高其粘合剂的黏着度。
清洗：清除材料上的光学物质的污染以及清除有机物残留，氧化和金属盐等对材料的污染。
活化：能使处理基材表面生成所需化学极键；
退镀：使被处理基材除去金属等材料，制作各种产品。
