小型等离子清洗机TS-APM10
产品参数:
型号 | 小型等离子清洗机TS-APM10 |
外形尺寸(WxHxD) |
660*700*560 |
反应腔尺寸 |
200x200x270mm |
反应腔容量 |
10L |
反应腔材料 |
进口不锈钢 |
真空泵 |
飞越 4L/S |
角阀 |
北仪 超高真空40KF |
真空显示规管 |
松下/SMC ZSE30A |
射频电源 |
美国进口 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2045GHZ |
PLC系统 |
三菱 FX系列 |
电气系统 |
施耐德 |
触摸屏 |
松下4.3寸 显控 |
陶瓷封装 |
进口高频陶瓷 |
处理气体 |
O₂、Ar₂、N₂、H₂、CF |
输出功率F |
0-600W可调 |
小型等离子清洗机作用原理:
(A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
(B)激活键能,交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20eV,而聚合物中大部分的键能在 0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能团--化学作用如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。
等离子体中的化学效应:
电子与不同的粒子在不同条件下的碰撞对产生新的能量粒子起着关键作用,这些能量粒子促进等离子体中化学反应的发生。这包括半导体材料的等离子体刻蚀和等离子体增强化学气相沉积,还包括一些环保应用。例如,利用等离子体中的二次电子级联来消除不需要的化合物或者分解氮化物。
气体中激发态和电离态粒子的存在使得等离子体中可能存在一种新型的化学反应过程。在传统的化学中,分子的能量在0~0.5eV范围内发生反应。在光化学中,驱动能量在0~7eV范围内,并且涉及光致激发态的分子。此外,等离子体化学具有更加宽广的能量反应范围,并且涉及激发、离解、电离的分子等。原子和自由基的产生、异构化、原子或者小团分子的消除、二聚/聚合、化学溅射、表面蚀刻以及表面材料合成等都是典型的等离子体化学反应。
小型等离子清洗机的应用范围:
售后服务:
响应迅速,在北京,上海,广州,山东,湖北,苏州等地均有售后服务团队。
供方严格按现行国家标准及技术规格要求确保产品性能、质量。整机保修壹年。保修期内设备如出现故障(非人为损坏),乙方安排售后人员跟进处理,直至故障排除,(非工作时间及工作日除外)质保期后,供应商免费提供技术咨询及检修费,只收取相关成本费。