等离子清洗设备

等离子清洗设备技术参数：

等离子清洗设备工作原理：

等离子清洗设备由反应仓、机械骨架、供气系统、真空系统、射频电源和控制系统组成。等离子体清洗是依靠处于“等离子态”的物质的 “活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看,等离子体清洗是所有清洗方法中最为彻底的剥离式清洗。 就反应机理来看,等离子体清洗通常可包括以下过程:

1)无机气体被激发到等离子态;

2)气相物质被吸附在固体表面;

3)被吸附基团与固体表面分子反应生成了产物 分子;

4)产物分子解析形成气相;

5)反应残余物脱离表面。

等离子体清洗最大的特点是不分处理对象、基材 类型均可进行处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。等离子体清洗利于环境保护,工作中只使用微量气体,没有污染物排放;等离子清洗工艺成本低,容易使用,可以处理各类材料,具有良好的均匀性和重复性。

影响等离子清洗效果的因素：

工艺气体及有关参数

1)氩气:物理轰击是氩气清洗的机理。氩气是最有效的物理等离子体清洗气体,原因在于它原子的尺寸大。可以用很大的力量轰击样品表面。正的氩离子将被吸引到负向电极板。撞击力足以去除表面上的任何污垢。然后这些气态污物通过真空泵排出。

2)氧气:化学工艺中等离子体与样品表面上的 化合物反应。例如,有机污染物可以有效地用氧气等离子去掉,这里氧气等离子与污染物反应,产生二氧 化碳、一氧化碳和水。一般地说,化学反应清除有机污染物效果更好。

3)氢气:氢气可供去除金属表面氧化物使用。 它经常与氩气混合使用,以提高去除速度。一般人们担心氢气的易燃性,氢气的使用量非常少。人们更大 的担心是氢气的存储。我们可以采用氢气发生器从 水中产生氢气。从而去掉了潜在的危害性。

4)CF4/SF6:氟化的气体在半导体工业以及PWB (印制线路板)工业中应用非常广泛。在IC封装中的应用只有一种。这些气体用在PADS工艺中,通过这种处理,氧化物转化成氟氧化物,允许无流动焊接。

5)压力:反应仓内的压力是工艺气体流速、仓体泄露率和泵抽速的函数。工艺气体的选择决定等离子清洗机制(物理、化学或物理/化学)。物理工艺较低的压力。物理等离子清洗要求受激的粒子碰撞基板表面。如果工艺压力高,已激励的粒子在到达清洗表面之前将与其它粒子经过很多次的碰撞,损失能量。可是,如果压力降低太多,将没有足够的活性反应组分在合理的时间内来清洁基板。 化学工艺依靠气体等离子体与基板表面的化学反应,所以反应粒子数越多就会增加清洗能力,需要使用较高压力。较高的压力使化学工艺具有较快的 清洁速度。

6)功率:增加等离子体功率是通过增加等离子 内的离子密度和离子能量来增加清洁速度和清洁强度。可是,如果增加功率太多,可能对基板有害,并且对结果也是无效。

7)时间:一般来说要在最短的工艺时间达到最佳清洗效果,是工艺时间与功率、压力和气体类型平衡。功率的设置主要要与处理时间相平衡,增加功率 可以降低处理时间,然而,会使仓体内温度升高。对于许多处理工艺来说,较高的温度相当于催化剂,并且会导致不均匀或刻蚀过度。所以要想优化处理工艺,综合考虑这两个参数是必须的。

等离子清洗设备常见应用：

等离子清洗设备在印刷行业

等离子清洗设备在印刷包装行业的应用:采用等离子处理胶结面工艺可以极大的提高粘接强度，降低成本，粘接质量稳定，产品一致性好，不产生粉尘，环境洁净。是糊盒机提高产品品质的最佳解决方案。处理的材料类型包括:带有OPP, PP, PE覆膜的纸板、带有PET覆膜的纸板、带有金属镀层的纸板、带有UV涂层的纸板(UV油固化后本身不能脱层) 、浸渍纸板、PET,PP等透明塑料片材。其处理效果已得到国内外知名印刷公司的一致肯定与认可。

等离子清洗设备在数码行业

等离子清洗设备在数码行业的应用:塑料作为取代金属的新型材料，其表面油漆相当不易，消费者经常反应买回去的手机、笔记本电脑或者数码相机不到一个月就出现了表面掉漆或者键盘文字褪色的问题。如果用其他化学方法处理，其价格高，污染大。而使用数码专用等离子清洗设备处理后用手触摸可以感觉表面略有粗糙;使喷漆的附着性能大大增强。

等离子清洗设备在汽车行业

等离子清洗设备在汽车行业的应用: 在目前已经广泛的应用于车灯、各种橡胶封条、内饰、刹车块、雨刮器、油封、仪表盘、安全气囊、保险杠、天线、发动机密封、GPS、DVD、仪表、传感器。汽车的门封条:在它的表面如果要上漆或者植绒，由于其材料多为橡胶制品，相当不易粘接。如果用化学清洗，既是离线的，又会污染环境，用在线等离子处理机是理想的解决方法。汽车车灯处理时，都会使用胶结来满足配光镜与壳体之间的防漏要求，用等离子清洗设备对胶结表面进行预处理，得到了即便宜又高质量的胶结结果，并与生产线密切结合而实现了连续化生产。目前已通过对比亚迪、克莱斯勒、通用、奥迪等多款汽车处理，效果显著。成为国内大多数知名汽车制造商或汽车零部件供应商的首选品牌。

手机外壳等离子粘接

为使手机外观更为精致高档，手机外壳通常会粘接或印刷上品牌LOGO或装饰条。以前手机外壳是由ABS构成，其表面张力较高，一般不用处理。但随着PC、尼龙+玻纤等材料的广泛使用，不处理已经不能将基材的表面张力提高到胶水所要求的数值。等离子清洗设备所具有的高效处理能力则可以将这些要粘接的材料表面张力提高到胶水所要求的数值。例如手机机壳(尼龙+玻纤)经过等离子体表面处理后，其表面张力达到了70dynes/cm。工艺简单，降低了成本，无须底涂。由于该款等离子设备能直接安装在各类机械流水线上，与流程同步。因此具有高效、高稳定性和低成本等特征。

手机按键和笔记本键盘粘接

硅橡胶是制造手机按键和笔记本键盘的主要材料，无论是使用水溶性胶还是UV胶，都需要对粘接表面进行表面处理。以前，一般采用化学试剂底涂或电晕的方式处理。但他们都存在以下弊端:化学试剂底涂，无法在线使用，成本高，不环保;电晕处理，一般只能达到30-45dynes/cm的表面张力，对材料厚度有限制(一般不能超过4mm)，线速度慢等。低温等离子旋转喷嘴系列，能处理硅橡胶按键的表面，最大产线速度能够达到60米/分，最大处理效果>70dynes/cm,可以不用底涂，对材料厚度没有限制，通过用户质检部的测试，相应产品和技术已经在IBM、APPLE、lenovo、东芝、华硕等笔记本电脑及NOKIA、MOTO、Samsung、LG等品牌手机上使用。

手机壳和笔记本外壳的涂装

随着环保要求的提高，手机外壳和笔记本外壳的喷涂处理基本上都使用了水性漆，因为水的低附着能力，如果基材不经过表面改性，喷涂后会出现易流挂、不平展、易产生缩孔、不易深入缝隙等弊端，无法通过测试。而目前由塑胶制成的外壳材料主要是PC+ABS，其中含有少量碳纤维(具有导电性)，所以我们在设计等离子对手机外壳和笔记本外壳的喷涂前表面处理方案时从材料性质、宽度、碳纤维对处理的影响、在线使用等各种因素着手，产品已经被国内多家大型喷涂企业喷涂线应用。

LCD柔性薄膜电路贴合

移动电话、触摸屏、笔记本电脑的显示屏等产品的生产过程中显示屏和柔性薄膜电路的连接过往采用热压法，即将柔性的薄膜电路通过加热和加压的方式直接贴合到 LCD带有接线点的玻璃上，这种工艺要求玻璃平面洁净，但在实际的生产、仓储、运输过程中玻璃表面很容易收到污染，如不进行清洗，会不可避免地出现指印或尘埃。这些表面杂质颗粒造成的短路在一段时间内会使 LCD的显示节段出现故障，通常表现为:显示屏中出现显示缺失，或者显示紊乱。除此之外薄膜电路和玻璃因表面张力不高而导致的粘接不良也会造成故障。解决这一问题的传统方法是利用棉签和清洁剂，靠人工来对 LCD的玻璃进行清洁，但是这种处理方法会使废品率平均高达12%。利用等离子体技术对 LCD玻璃进行清洗，去除了杂质颗粒，提高了材料的表面能，使产品的成品率出现数量级的提高。同时由于射流低温等离子体是电中性的，因此在处理时不会损伤保护膜、ITO 膜层和偏振滤镜。该处理过程可以"在线"进行，并且无需溶剂，因此更加环保。

元件绑定前等离子处理

等离子清洗过的IC可显著提高焊线邦定强度，减少电路故障的可能性;溢出的树脂、残余的感光阻剂、溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区域中，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子处理来去除污物和带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业还是电子、航空、健康等行业，其可靠性很大一部分都依赖于两个表面之间的粘合强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，经过等离子处理以后都能有效地提高粘合力，从而提高最终产品的质量。等离子处理在提高任何材料表面活性的过程中是安全的、环保的、经济的。

等离子清洗设备在塑料行业应用

等离子清洗设备在塑料及橡胶(陶瓷、玻璃)行业中的应用:聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以最大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。