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等离子清洗机
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小型石英等离子清洗机安装与操作说明

小型石英等离子清洗机设备安装与操作使用说明如下:

5.1初始安装时,遵循下列步骤:

第一步: 连接好等离子清洗机与真空泵之间的真空管路,紧固好O型卡和锁紧帽,做到连接处密封且不漏气。

第二步: 接通供电电源和真空泵电源,在此之前检查所有按钮必须处于复位状态,同时检查所供电源插座的L、N、E的接线是否与机箱后的AC220V输入插头相一致,以免发生危险动作。

第三步: 第一次开机,不做其它操作,直接打开机体上红色电源开关、真空泵开关,轻轻推关腔门,然后按绿色启动键抽真空,目的是去潮除湿,同时检查是否有漏气部位:听漏气声响;拉动真空仓门是否密封;观察压力表到达-100Kpa左右;若无上述状况即为正常

第四步: A、打开电源,先在显示屏里设定清洗时间;

B、将托盘承载的产品放入反应室内;

C、轻推反应腔门,按面板上绿色启动开关,真空泵开始工作。

D、压力表真空值-101KPa左右,看到离子辉光放电现象,进入处理状态;同时可设定功率大小、反应气体注入量;(反应气体是根据工艺需求选配,不使用时锁紧关闭,)

5.3 使用操作步骤

5.3.1 自动状态下运行处理

等离子清洗机使用操作方法


(图5.3.1主机界面)

等离子清洗机使用操作方法

(图5.3.2功能画面)

等离子清洗机使用操作方法

(图5.3.3参数画面)

1. 进入“主机界面”(图5.3.1主机界面),点击“下一页”进入“功能画面”(图5.3.2功能画面)选择“参数页面”(图5.3.3参数画面)修改清洗时间或清除清洗数据。

2. 点击“下一页”进入“手动页面”将氧气氩气阀门设置为打开状态,返回主机界面。

3. 调节功率,功率调节范围80%-100%,根据实验需求进行调节。

4. 将被处理物放置真空腔内,关好腔门,按下启动按钮,开始抽真空。

5. 待腔体产生辉光,根据实验需求,手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

6. 到达处理时间后,平衡阀自动复原,3秒左右恢复常压,无进气声响时,腔门自动打开。

7. 打开腔门,取出被处理物,一个处理过程结束。

____以上各命令都可在键下终止,回到复位状态。所有数字量都可自由调整,确认键后记忆保存,断电不丢。

5.4手动状态下运行处理

等离子清洗机使用操作方法


(5.4.1手动状态下操作页面)

1. 调节功率,功率调节范围80%-100%,根据实验需求进行调节。

2. 将被处理物体放置到仓内,关好仓门,按下启动钮,开始抽真空。

3. 真空度达到要求时,按下射频电源钮(打开状态为:黄色灯亮“开”),加入射频高压,处理过程开始。

4. 待腔体产生辉光,根据实验需求,打开氧气氩气阀门开关(打开状态为:黄色灯亮“开”),手动调节流量计旋钮添加辅助性气体。

5. 到达处理时间后,复原平衡阀钮,3秒左右恢复常压,无进气声响时,腔门自动打开。

6. 打开腔门,取出被处理物,一个处理过程结束。

在手动状态下,可设定氧气阀、氩气阀、真空泵、射频电源、平衡阀的开关选择,进行数据工作。

5.5气体使用注意事项:

①在触摸屏的手动画面打开气阀;

②腔内激发辉光后,再扭开流量计注入;

③两路气体,机体前面板上的流量计与机体背面的气孔口为对应一致接入工作;

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