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等离子清洗机
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自动在线式真空等离子清洗...

产品型号:TS-VPL220-ZX

产品简介: 适用于大规模的生产线,节省人工,降低劳动力成 本

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在线式真空等离子清洗机基本参数:

型号 在线式真空等离子清洗机
处理时间 2-3分钟/循环
输入电压 220V±10%(AC)50-60HZ
输出功率 2 * 1KW
输出电压 8000-12000AC
工作环境温度 -10℃-30℃
工作环境湿度 20%-90%
工作频率 40KHz
产能 两层托盘,尺寸定制
抽真空时间 <40s
真空度 5-100pa(可调)
传送装置 三段式轨道,上下两层中转(可根据需求定制)
真空泵组 油泵/干泵+罗茨增压泵
可增变冷水机组 可选配
自主研发控制软件 生产信息统计,MES系统对接、工艺参数调节等功能
工艺气体 5路工作气体可选:Ar2/N2/H2/CF4/O2
气源 CDA 0.5MPa- 0.6MPa,气压报警装置
腔体温度 <30℃
有效处理宽幅 200mm-2000mm(可定制)
等离子发生器频率 40KHz/13.56MHz/2.45GHz(选配)
传动电机 86伺服马达
喷头运行方式 往复式
喷枪火焰长度 10mm-30mm
输入气压报警 菜单+声光报警
射频电源 13.56MHz
温度检测装置 设备加装有温度扫描仪,能实时监测到

在线式真空等离子清洗机产品特点:

在线式真空等离子清洗机可以实现温度、真空值、反应气体实时检测;

整机采用PLC微电脑控制系统,无缝对接MES系统;

适合各种形状产品,通用性高;

合理的等离子反应空间,使处理更均匀;

良好的安全性,多功能安全保护;可根据客户需求定制。
自动进出料,可对接原有生产线,实现自动化在线生产;

在线式真空等离子清洗机机器介绍:

反应仓

为了满足快速高效的工业生产,并基于对产品的需求,将等离子反应仓设计为小型长方体,反应仓体内部尺寸,一方面减少了抽真空和压力平衡的时间,提高了效率另一方面减少了气体的消耗,节约了成本。此外,在仓体侧面开有一可视透明小窗口,可以通过此处检查气体放电的情况。

射频等离子产生系统

射频等离子产生系统包括射频电源和射频匹配网络,射频电源是等离子体放电的关键设备,等离子体反应器是利用其提供的能量,生成电子、离子等活性粒子,即等离子体。在电源的参数选择方面,工作频率为,射频输出功率为一的可调区间,主系统电源电压为士,外接线路工频为一,采用三相四线接法

真空系统

低压等离子放电相对于常压等离子放电,放电更稳定,粒子的自由程更长,等离子的活性更强,温度更低,对高精密仪器的清洗伤害更小,放电开始前需对反应仓体进行抽真空,使用真空泵对仓体进行抽真空,极限真空度小于或等于,真空泵在清洗物体放入后启动,并在清洗过程中一直运行,保证仓体内压力稳定在一个范围内。

上、下料传动系统

上下料系统主要由机械手、传送带、升降机和滑动导轨组成,在上下料系统中料盒可在竖直方向和水平方向移动。竖直方向移动由升降伺服电机带动升降平台实现,升降平台与料盒一起做竖直运动。水平方向移动由水平伺服电机带动料盒安装板实现,机械手传送机构完成物料的传送。

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