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等离子清洗机
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小型真空等离子清洗机TS-P...

产品规格: 小型真空等离子清洗机

产品用途:PDMS芯片键合、科研实验用

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产品参数:

型号 小型真空等离子清洗机TS-PL05
外形尺寸(WxHxD) 660*700*560
反应腔尺寸
Φ150x280mm
反应腔容量
5L
反应腔材料
进口不锈钢
真空泵
飞越 4L/S
角阀
北仪 超高真空40KF
真空显示规管
松下/SMC ZSE30A
射频电源
美国进口 40KHZ   100KHZ  13.56MHZ   2045GHZ
PLC系统
三菱 FX系列
电气系统
施耐德
触摸屏
松下4.3寸 显控
陶瓷封装
进口高频陶瓷
处理气体
O₂、Ar₂、N₂、H₂、CF
输出功率F
0-600W可调

小型真空等离子清洗机原理:

等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

小型真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内,真空泵开始抽气至一定的真空度,电源启动便产生等离子体,然后气体通入到反应腔室,使腔室中的等离子体变成反应等离子体,这些等离子体与样品表面发生反应,生产可挥发的副产物,并由真空泵抽出。

小型真空等离子清洗机特点:

绿色环保,不使用化学溶剂、无二次污染、操作简便、使用和维护成本极低

小型真空等离子清洗机使用范围:

小型真空等离子清洗机使用范围

(1)表面清洗

材料表面尝尝会有油脂、油污等有机物及氧化层,在粘合、焊接前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。适用于金属、玻璃、陶瓷灯多种材料。

(2)表面活化

塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。在惰性材料表面生成活性基团,增强表面极性,提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比,不会损害样品,同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,盲孔和带缝隙的样品也可以处理。

(3)表面刻蚀

在等离子刻蚀过程中,通过处理 气体的作用,被刻蚀物会变成气化物(例如在使用氟气对硅刻蚀时)。处理 气体和基体气化物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理 气体覆盖。无需刻蚀部分应使用相应材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料。)

(4)表面接枝与聚合

在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时,采用等离子体接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为:首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团,利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合,后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团,以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。

售后服务:

响应迅速,在广东,江苏,河南,山东,湖北等地均有售后服务团队。

供方严格按现行国家标准及技术规格要求确保产品性能、质量。整机保修壹年。保修期内设备如出现故障(非人为损坏),乙方安排售后人员跟进处理,直至故障排除,(非工作时间及工作日除外)质保期后,供应商免费提供技术咨询及检修费,只收取相关成本费。

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